激光微纳制造技术_苏州光刻加工

随着产品不断向微小型化和高端化发展，产品零部件上微细结构的加工制造愈发困难，传统制造技术几乎无能为力，(TSV通孔)探寻新型微纳制造技术已经成为国内外科技人员研发的重点。其中，激光微纳制造技术通过激光与材料的相互作用改变材料的结构特征和性能，研究激光与物质相互作用的非线性效应，探索近场光学原理，力求突破光学衍射极限，实现从微米到纳米尺度的加工制造。作为一种前沿制造技术，激光微纳制造技术具有加工分辨率高、对材料无选择性和真三维加工等优势，可以实现金属、玻璃、陶瓷、高分子有机物、半导体、生物软组织等各种材料的微纳结构制备。

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激光微纳制造技术一般指激光光束对加工对象的影响尺寸范围在纳米到亚微米之间的加工工艺过程。

激光微纳制造技术包括飞秒激光直写、双光子聚合、干涉光刻、激光诱导表面纳米结构等主要工艺方法。

纳米尺度材料具有宏观尺度材料所不具备的一系列优异域能，制备纳米材料有许多途径,其中超快激光微纳制造成为通过激光手段制备纳米结构材料的热门方向。

超快激光-般是指脉冲宽度短于10 ps的皮秒和飞秒激光，超快激光的脉冲宽度极窄、能量密度极高、与材料作用的时间极短，会产生与常规激光加工几乎完全不同的机理，能够实现亚微米与纳米级制造、超高精度制造和全材料制造。

激光增材制造和超快激光微纳制造是激光制造技术领域中当前和今后-段时间的两个热点，已经被列人“增材制造和激

光制造”国家重点研发计划。

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