[文章]主题： 微等离子体分类—喷砂氧化 ... 发布者： 喷砂氧化
02/22/2019
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微等离子体分类—喷砂氧化
铝合金表面彩色等离子阳极氧化技术就是通过等离子体阳极氧化技术在铝合金表面形成具有一定色调的高致密耐磨的等离子体阳极氧化膜，该技术在精密仪器和光学仪器领域得到了广泛应用，并正向其他领域扩展。
微等离子体的分类——喷砂氧化厂家来为大家娓娓道来：
一：基带诱导微等离子体
由一块介质板, 一根带状电极,一块接地平板电极,以及产生等离子体的放电间隙组成。 （铝氧化处理）放电间距一般为 0 . 2~ 0 . 5mm。 2. 45GH z的微波通过一根同轴电缆由 S MA接头导入。
微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区, 同时也减少了不必要的外空间辐射损失, 有利于耦合效率的提高,从而获得高密度等离子体。
二：容性耦合微等离子体
容性耦合等离子体放电(又称 E 模式放电)，是通过匹配器和隔直电容, 将13.56MHz的射频功率施加到两块平行平板电极上，使石英板中宽度为200~500um 的矩形沟槽内的He放电形成等离子体，放电功耗在5~25W 之间。
三：感应耦合微等离子体
感应耦合等离子体放电(又称 H模式放电 )的原理主要是将射频电流经由匹配电路传输给感应线圈,线圈通过感应形成感应电场,从而激发并维持等离子体。
感应耦合微等离子体系统是无电极放电，（压铸铝氧化）可以长时间操作而不发生任何损害，但该系统通常需要运行在低于1torr的环境下工作, 因而限制了其应用。
四：介质阻挡微等离子体
介质阻挡放电也被称为无声放电,通常由两个平行电极组成,其中至少有一个电极表面复盖有电介质,当两极间加上交流高压或脉冲时,两极间的气体被击穿发生介质阻挡放电。
介质阻挡放电是低温等离子体，可以在大气压下低功耗、低气体消耗下操作，在发展便携式小型仪器方面有得天独厚的优势。
五：毛细管微等离子体
电介质毛细管复盖在一个电极表面或同时复盖在两个电极表面，毛细管的直径从 0 . 01~ 1mm不等, 长度-直径比值从 10: 1到 1 : 1 。在高气压下放电时,毛细管末端产生高强度等离子体射流,形成等离子体电极。
频率对毛细管放电有着很大的影响,该频率值与长度-直径比值和工作气体有很大关联，毛细管放电有很好的均匀性。
六：微空心阴极微等离子体
微空心阴极采用细圆筒空心电极为阴极，空心阴极的孔径尺寸为亚毫米量级。在微空心阴极放电过程中, 双极场势阱的束缚使得大部分电子被约束在放电腔中,寿命得以延长, 这有利于增加背景气体的电离,提高等离子体密度。
该结构也称“微腔放电”或“微结构点击放电”。
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最后更新: 2019-02-22 17:05:34
