大气压力传感器设计与制造_苏州离子束刻蚀加工

多传感器信息融合技术的基本原理就像人的大脑综合处理信息的过程一样，(深硅刻蚀)将各种传感器进行多层次、多空间的信息互补和优化组合处理，至终产生对观测环境的一致性解释。在这个过程中要充分地利用多源数据进行合理支配与使用，而信息融合的至终目标则是基于各传感器获得的分离观测信息，通过对信息多级别、多方面组合导出更多有用信息。这不仅是利用了多个传感器相互协同操作的优势，而且也综合处理了其它信息源的数据来提高整个传感器系统的智能化。

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敏感薄膜是大气压力传感器至核心的部件，其材料、尺寸和厚度决定着传感器的性能。

目前敏感薄膜的材料多采用重掺杂p型硅、Si3N4、单晶硅等。这几种材料都各有优缺点，其选择与目标要求和具体工艺相关。硅膜不破坏晶格，机械性能优异，适于阳极键合形成空腔，从简化工艺的目的出发，本方案选择硅膜。

利用有限元分析软件ANSYS对接触式结构的薄膜工作状态进行了模拟。材料为Si，膜的形状为正方形，边长1000 μm，膜厚5 μm，极板间距10 μm。在1.01105Pa的大气压力下，薄膜中央接触部分及四个边角基本不受应力，四边中央应力至大为1.07 MPa，小于硅的屈服应力7 MPa。

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