箱式气氛炉炉膛材料结构及作业指导

箱式气氛炉炉膛采用莫来石聚轻砖砌筑，炉膛内上下用碳化硅棚板，炉内温度是加热元件在加热过程中经过碳化硅棚板传导（暗火加热），温度更均匀。炉壳密封。为提高密封垫的使用寿命在炉门口设有循环水冷套以降低密封处的温度。进气设炉膛底部，经加热腔预热后分多处进入炉内，排气经炉顶后部排出。保证箱式气氛炉炉内气氛均匀，减小炉内温差。气路上装有气体流量计，用于正常使用控制气氛流量。

真空管式炉采用双层壳体结构和多段程序控温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶体纤维材料，双层炉壳间配有风冷系统，能快速升降温，采用优质耐高温不锈钢、两端用不锈钢法兰密封，可通氮气、氢气、氨气、氯气等，用浮子流量计控制进气流量、该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想产品。

箱式气氛炉作业指导

●操作规范

1. 使用前需要检查箱体及附件是否齐全，接线端子是否松动。注意是否有断路或漏洞现象。

2. 仔细阅读使用说明书及仪表操作说明书。

3. 待一切准备就绪就可将试样放入坩埚，然后将坩埚放入炉中，关上箱门。 4. 通电使用

5. 在升温及保温过程完成后箱式高温气氛炉开始降温。进入降温程序后，当温度降温到300℃以下时方可打开炉门将坩埚取出。

● 注意事项

1. 当电炉第一次使用或长期停用后再次使用时，必须按照说明书进行一次烘炉干燥，否则易造成炉膛开裂。

2. 保持炉膛内清洁，对炉内的金属氧化物、熔渣和杂质等应及时清除。装取坩埚时应谨慎，以防碰坏电阻丝。

3. 电炉和控制器必须在没有导电尘埃，土崩瓦解性气体的条件下使用。电炉和控制器使用时，均不得超过额定功率4KW，炉温不得超过至高使用温度1100℃。

4. 不可在酸、碱、盐等腐蚀性、挥发性气氛中使用。

5. 控制器工作环境温度限于0~50℃。

6. 电阻丝在使用时如果发现有的发生腐蚀需要更换。

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